Ko te Hurihanga Tika i roto i te hanga semiconductor: Ka tutaki te granite ki te hangarau micron
1.1 Nga kitenga ohorere i roto i te pūtaiao rauemi
E ai ki te ripoata a te SEMI International Semiconductor Association 2023, 63% o nga papanga matatau o te ao kua timata ki te whakamahi i nga turanga kirikiri hei utu mo nga papa whakarewa tuku iho. Ko tenei kowhatu taiao, i ahu mai i te kondensation magma i roto i te whenua, kei te tuhi ano i te hitori o te hanga semiconductor na te mea he ahurei nga ahuatanga tinana:
Te painga o te waiariki: ko te whakarea whakareatanga waiariki o te granite 4.5×10⁻⁶/℃ he 1/5 noa iho o tera o te kowiri tira, ka mau tonu te ahua o te ± 0.001mm i roto i te mahi tonu o te miihini lithography.
Ko nga ahuatanga whakaheke o te wiri: ko te whakarea waku o roto he 15 nga wa teitei ake i tera o te rino maka, he pai te tango i nga taputapu moroiti-wiri.
Kore ahua aukumetanga: whakakore rawa i te hapa autō i te ine taiaho
1.2 Ko te haerenga o te metamorphosis mai i taku ki te fab
Ko te tango i te turanga hanga mohio a ZHHIMG i Shandong hei tauira, me whai tetahi wahi o te kirikiri mata:
Mahinga tino tika: rima-tuaka hono pokapū miihini mo nga haora 200 o te mira tonu, te taratara o te mata ki runga ki te Ra0.008μm
Te maimoatanga tawhito tawhito: 48 haora o te tuku ahotea taiao i roto i te awheawhe mahana me te makuku, e pai ake ai te pumau o te hua ma te 40%
Tuarua, kawhia nga raru e ono o te hanga semiconductor "toka otinga"
2.1 He kaupapa whakaheke tere mo te wafer fragmentation
Whakaaturanga take: I muri i te hanga maramara i Tiamana ka tango i ta maatau papaa maanu hau:
| Te diameter angiangi | whakahekenga reiti maramara | whakapai ake i te papatahi |
| 12 inihi | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inihi | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Te kaupapa pakaruhanga tika o te tirohanga tuhi
Pūnaha utu pāmahana: ka aro turuki te pūoko uku i te taurangi āhua i te wā tūturu ka whakatika aunoa i te hianga o te papa
Raraunga ine: i raro i te rerekee o te 28 ℃ ± 5 ℃, ka rere ke te tika o te whakaurunga iti iho i te 0.12μm
Te wa tuku: Maehe-24-2025