I roto i nga mara o te hanga tika me te rangahau putaiao, ko te papatahi o nga papaapapa maamaa he tohu matua hei whakarite i te tika o nga taputapu. Ko nga korero e whai ake nei he whakamaarama mo te maha o nga tikanga rapunga auraki me o raatau tikanga whakahaere mo koe. ;
I. Taiaho interferometer tikanga Detection
Ko te interferometer laser te taputapu pai mo te rapunga papatahi teitei. Tangohia te ZYGO GPI XP laser interferometer hei tauira, ka taea e tana whakataunga te tae ki te 0.1nm. A, no te whakahaere i te rapunga, tuatahi whakahāngai i te puna marama o te interferometer ki te papaa ka wehea te mata o te papa ki nga waahi matiti 50mmx50mm. I muri mai, ka kohia nga raraunga taniko pokanoa i ia tohu, a ka whakauruhia nga raraunga ka tātarihia ma te whakamahi i te Zernike polynomial kia whiwhi i te hapa papatahi. Ko tenei tikanga e pa ana ki nga papaapapa tino tika ka kitea nga hapa o te ≤0.5μm/m². Kei te whakamahia nuitia i roto i te rapunga o nga miihini whakaahua whakaahua me nga papaa miihini ine teitei e toru-ruruku. ;
Ii. Tikanga Huanga Taumata Hiko
He ngawari ki te whakahaere me te tino pai te rapunga huinga taumata hiko. Ko te taumata hiko TESA A2 (me te taumira o 0.01μm / m) i tohua me te whakarite i roto i te raupapa 9 × 9 i te taha o te ahunga X / Y o te papa. Ma te kohi tukutahi i nga raraunga hianga o ia taumata, ka whakamahi i te tikanga tapawha iti rawa mo te tatau, ka taea te whiwhi tika te uara papatahi. Ka taea e tenei tikanga te tautuhi i nga ahuatanga o te waahi me nga ahuatanga o te papa. Hei tauira, ka kitea ano he rerekee o te 0.2μm i roto i te awhe 50mm, he pai mo te rapu tere i roto i te hanga papatipu. ;
Iii. Tikanga tioata Flat Optical
Ko te tikanga o te whatu whatu flat crystal he pai mo te rapunga o nga papaa waahi iti. Whakapiria te karaihe papatahi whatu ki te mata kia whakamatauria i runga i te papa ka mataki i nga taniko pokanoa i hanga i waenganui i a raatau i raro i te whakamarama o te puna marama monochromatic (pērā i te rama konutai). Mēnā he karaehe tika whakarara ngā whiu, he tohu pai te papatahi. Mena ka puta mai nga whiu kopikopiko, tatauhia te hapa papatahi i runga i te tohu o te kopikopiko kara. He rereke te teitei o te 0.316μm, ka taea te whiwhi raraunga papatahi ma te hurihanga ngawari. ;
E wha. Tikanga Tirotiro Miihini ine toru-ruruku
Ka taea e te miihini ine-toru-toru te whakatutuki i te inenga tino tika i roto i nga waahi e toru. Whakanohoia te papa kohatu ki runga i te tepu mahi o te miihini ine me te whakamahi i te tirotiro ki te kohikohi i nga raraunga mai i nga waahi ine maha i runga i te mata o te papa. Ka tukatukahia, ka tātarihia e te punaha miihini ine enei raraunga hei whakaputa i te purongo papatahi o te papa. Kaore e taea e tenei tikanga te kite i te papatahi, engari ka whiwhi ano hoki i etahi atu tawhā āhuahanga o te papa i te wa kotahi, a he pai mo te kitenga matawhānui o nga papa kohatu nui. ;
Ma te mohio ki enei tikanga rapu ka awhina koe ki te aromatawai tika i te papatahi o te papaapapa kirikiri me te whakarato i te taurangi pono mo te mahi mau o nga taputapu tika.
Te wa tuku: Mei-29-2025