I roto i te mara o te hanga teitei-mutunga me te rangahau rangahau puiao, ko te waahanga nekehanga tino-nui o te rewa rangi kua noho hei taputapu matua mo te mahi pai me te ine me tana mahi tino pai. Ko te turanga tika o te granite, hei kaupapa tautoko, he tino whakaritenga mo te taiao mahi, a ko nga tikanga taiao e tika ana ko te kaupapa hei whakarite i tana mahi pumau me te painga pai.
Tuatahi, mana pāmahana: pū "stabilizer"
Ahakoa e mohiotia ana te granite mo tona pumau, kaore e tino parea ki nga huringa pāmahana. Ahakoa he iti te whakarea o te roha waiariki, ko te tikanga 5-7 ×10⁻⁶/℃, i roto i nga ahuatanga whakahaere nekehanga tino tika, ka huri pea te rereketanga o te pāmahana, ka pa ki te tika o te waahanga. I roto i te awheawhe hanga maramara semiconductor, ko te tikanga o te lithography e tika ana te tuunga taumata-danami, ka rere ke te pāmahana ambient i te 1 ° C, me te turanga kirikiri me te 1 mita te roa o te taha ka whakaputa i te roha raina, te whakaheke ranei o te 5-7 microns. Ko tenei huringa iti ka tukuna e te waahanga nekehanga ultra-precision o te maanu rangi, he nui ki te hanga i te tauira lithography maramara i rerekee me te tino whakaiti i te hua. Na reira, kua rite rawa ki te turanga kirikiri o te hau e rere ana i te waahanga nekehanga ultra-precision, me whakahaere te pāmahana taiao mahi pai ki te 20 ° C ± 1 ° C, me te awhina o nga taputapu pāmahana pumau tonu, penei i te pāmahana me te makuku hau, te aro turuki me te whakarereketanga o te pāmahana ambient, ki te whakarite kia pai te rereke o te pāmahana i roto i te waahanga iti rawa o te mahi, kia mau ai te mahinga o te waahanga iti rawa atu.
Tuarua, whakahaere haumākū: te kī ki te tiaki makuku-tohu "kohatu"
Ko te haumākū tetahi mea nui e pa ana ki te mahi o te turanga kirikiri tika. I roto i te taiao haumākū nui, he ngawari te kirikiri ki te mimiti i te kohu wai, tera pea ka pa ki te toha i runga i te mata, e kore e pa ki te pumau o te hononga o te kirikiri me te waahanga nekehanga ultra-tino o te maanu rangi, engari ka paheke pea te mata o te mata me te whakaiti i te kanapa me te tika i roto i te waa roa. I roto i te awheawhe hurihuri arotahi whatu, ki te he teitei ake i te 60% RH te haumākū mo te wa roa, te kohu wai adsorbed i runga i te mata o te turanga granite ka pokanoa ki te nekehanga o te rēreti rere hau, kia heke te tika huri hurihanga arotahi, a he koha te mata. Na reira, ko te haumākū whanaunga o te taiao mahi me tino whakahaere i waenga i te 40% -60% RH, ka taea te aro turuki me te whakatika i roto i te waa tuuturu ma te whakauru i nga dehumidifiers, te haumākū pūoko me etahi atu taputapu ki te karo i te kino o te turanga granite na te nui o te haumākū, me te whakarite i te mahi maeneene o te waahanga nekehanga ultra-precision o te rererangi rererangi.
Tuatoru, te whakapumautanga ma: te "kaitiaki" o te tika
Ko te kino o nga matūriki puehu ki te turanga kirikiri tika o te waahanga nekehanga ultra-precision o te rere o te hau e kore e taea te whakahawea. Ka uru nga matūriki iti ki te waahi kiriata hau i waenga i te riireti maanu hau me te turanga kirikiri, ka ngaro pea te rite o te kiriata hau, ka nui ake te waku, tae noa ki te rakuraku i te mata o te turanga, ka heke te tika o te nekehanga. I roto i te awheawhe miihini tino tika o nga waahanga aerospace, mena ka taka nga matūriki puehu o te rangi ki runga i te turanga kirikiri, ka rereke te nekehanga o te taputapu miihini, ka pa ki te tika o te miihini o nga waahanga. Na reira, me tino ma te waahi mahi, ka eke ki te 10,000 teitei ake ranei o nga paerewa ma, na roto i te whakaurunga o nga taputapu horoi rangi, penei i nga whiriwhiringa hau (HEPA), te tātari i nga matūriki puehu i te rangi, i te wa ano, me kakahu nga kaimahi i nga kakahu kore-puehu, nga uhi hu, me era atu, hei whakaiti i te puehu i kawea mai e te tangata. Kia mau ki te taiao whakahaere tino tika o te turanga kirikiri me te rangi maanu ultra-precision motion module.
E wha, te wehenga wiri: te mahi maeneene o te "papa ru"
Ko te wiri o waho ko te hoariri o te tika o te waahanga nekehanga ultra-precision o te maanu rangi. Ahakoa he kaha te whakakorikori i te turanga kirikiri, ka pakaru tonu te kaha o te wiri i tona rohe aukati. Ko te wiri i hangaia e nga waka huri noa i te wheketere me te mahi o nga taputapu miihini nui ka tukuna ki te turanga kirikiri i roto i te whenua, ka whakararu i te tika o te nekehanga o te waahanga nekehanga ultra-precision o te rererangi rererangi. I roto i te CMM teitei, ka taea e te wiri te ine i te whakapiri i waenga i te tirotiro ine me te mea mahi kia kore e mau, ka puta he rerekee o nga raraunga ine. Hei whakatau i tenei raru, he mea tika ki te tango i nga tikanga motuhake o te wiri, penei i te whakatakoto i nga papa wehe wiri i roto i te waahi whakaurunga taputapu, te hanga i te turanga wehenga wiri, te whakamahi ranei i te punaha wehenga wiri kaha ki te whakakore i te wiri o waho, me te hanga i tetahi taiao mahi noho humarie me te pumau mo te turanga o te kirikiri me te hiko o te rangi.
Ma te tino whakatutuki i nga whakaritenga o te taiao o te pāmahana, te haumākū, te ma me te mana wiri, ka taea e te turanga granite o te waahanga nekehanga ultra-precision o te waka rererangi te tino takaro ki ona painga o te mahi, te whakarato taurangi pono mo nga mahi tino tika i roto i nga momo mara, me te awhina i te ahumahi ki te neke ki te taumata teitei o te hangahanga me te taumata rangahau pūtaiao.
Te wa tuku: Apr-08-2025