;
I roto i te mara o te hanga semiconductor, hei taputapu matua e whakatau ana i te tika o te mahi hanga maramara, he mea nui te pumau o te taiao o roto o te miihini whakaahua. Mai i te whakahihiri o te puna marama ultraviolet tino ki te mahi o te papaa nekehanga nanoscale precision motini, karekau he rereke iti i nga hononga katoa. Ko nga turanga Granite, me te raupapa o nga ahuatanga ahurei, e whakaatu ana i nga painga kaore i rite ki te whakarite i te mahi pumau o nga miihini whakaahua whakaahua me te whakarei ake i te tika o te whakaahua whakaahua. ;
He tino pai te mahi whakamarumaru hiko
Ko te roto o te miihini whakaahua whakaahua kua whakakiia ki te taiao hiko uaua. Ko te wawaotanga hiko (EMI) i hangaia e nga waahanga penei i nga puna marama ultraviolet tino nui, nga motuka taraiwa, me nga taputapu hiko teitei, ki te kore e pai te whakahaere, ka tino pa ki te mahi o nga waahanga hiko me nga punaha oro i roto i nga taputapu. Hei tauira, ko te pokanoa ka puta he paku rereke i roto i nga tauira whakaahua whakaahua. I roto i nga mahi hangahanga matatau, he rawaka tenei ki te arahi ki nga hononga transistor hē i runga i te maramara, ka tino whakaiti i te hua maramara. ;
Ko te Granite he mea whakarewa-kore, a, karekau e kawe hiko anake. Karekau he ahuatanga arataki hiko i puta mai i te neke o nga irahiko kore utu ki roto pera i nga taonga whakarewa. Ko tenei ahuatanga ka waiho hei tinana whakamarumaru hiko hiko, ka taea te aukati i te ara tuku o te wawaotanga hiko o roto. I te wa e horahia ana te papa aukume rereke e te puna wawaotanga electromagnetic o waho ki te turanga granite, na te mea he kore-aukume te kirikiri, kaore e taea te aukume, he uaua ki te kuhu atu te papa aukume rereke, na reira ka tiakina nga waahanga matua o te miihini photolithography i whakauruhia ki runga i te turanga, penei i nga pukoro tika me nga taputapu whakatikatika arotahi o te mata, mai i te awe o te whakaahurutanga o te hikohiko me nga taputapu whakatikatika arotahi, mai i te awe o te whakaraeraetanga o te hikohikohiko me nga taputapu whakatikatika o te mata. tukanga photolithography. ;
He pai te hototahitanga korehau
Na te mea ka ngawari te uru o te rama ultraviolet (EUV) e nga matū katoa, tae atu ki te hau, me mahi nga miihini litography EUV i roto i te taiao korehau. I tenei wa, ko te hototahitanga o nga waahanga taputapu me te taiao korehau he mea tino nui. I roto i te korehau, ka memeha, ka wetewete, ka tuku hau. Ko te hau i tukuna e kore e mimiti noa i te marama EUV, ka whakaiti i te kaha me te pai o te tuku o te marama, engari ka poke ano hoki nga arotahi whatu. Hei tauira, ka taea e te kohu wai te whakapouri i nga arotahi, ka taea hoki e te waiwaro te whakatakoto nga papa waro ki runga i nga arotahi, ka tino pa ki te kounga o te tuhi. ;
He matū pūmau te kirikiri, ā, karekau e tuku hau i roto i te taiao korehau. E ai ki nga whakamatautau ngaio, i roto i te taiao korehau miihini whakaahua whakaahua (penei i te taiao korehau ultra-ma e noho ana te punaha whatu whakamarama me te punaha whakaata whakaahua i roto i te ruma matua, me H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ <10⁻⁷ Pa, he iti rawa atu te reiti o te kirikiri o te papa, he iti rawa atu te reiti o te kirikiri o te papa o te papa. konganuku. Ma tenei ka taea e te roto o te miihini whakaahua te pupuri i te tohu teitei me te maemaa mo te wa roa, me te whakarite i te whakawhitinga teitei o te marama EUV i te wa o te tuku me te taiao whakamahinga ultra-ma mo nga arotahi whatu, te whakawhānui ake i te oranga ratonga o te punaha whatu, me te whakarei ake i te mahinga katoa o te miihini whakaahua. ;
He kaha te wiri me te pumau o te waiariki
I roto i te tukanga whakaahua whakaahua, ko te tino tika i te taumata nanometer me kaua te miihini whakaahua whakaahua kia iti te wiri, te huringa waiariki ranei. Ko nga wiri o te taiao na te mahi o etahi atu taputapu me nga nekehanga a nga kaimahi i roto i te awheawhe, tae atu ki te wera i puta mai i te miihini whakaahua whakaahua i te wa e mahi ana, ka raru katoa ki te tika o te whakaahua whakaahua. He nui te kiato me te kakano maro te Granite, a he tino pai te atete wiri. Ko tona hanganga kohuke kohuke o roto he totika, ka taea te whakaiti i te kaha wiri me te tere te pehi i te whakatö wiri. Ko nga raraunga whakamatautau e whakaatu ana i raro i te puna wiri kotahi, ka taea e te turanga granite te whakaheke i te kaha o te wiri i te neke atu i te 90% i roto i te 0.5 hēkona. Ka whakatauritea ki te turanga whakarewa, ka tere ake te whakahoki mai i nga taputapu ki te pumau, me te whakarite i te tika o te tuunga i waenga i te arotahi whakaahua whakaahua me te angiangi, me te karo i te whakapoapoa o te tauira, te hee ranei na te wiri. ;
I tenei wa, he iti rawa te whakarea o te roha waiariki o te granite, tata ki te (4-8) ×10⁻⁶/℃, he iti ake i tera o nga mea whakarewa. I te wa e mahi ana te miihini whakaahua whakaahua, ahakoa he rereke te pāmahana o roto na nga mea penei i te whakaputanga o te wera mai i te puna marama me te waku mai i nga waahanga miihini, ka taea e te turanga granite te mau tonu o te ahua me te kore e pa ki te whakarereketanga nui na te toronga wera me te whakahekenga. E whakarato ana i te tautoko pumau me te pono mo te punaha whatu me te papaaho nekehanga tika, kia mau tonu te rite o te whakaahua whakaahua.
Te wa tuku: Mei-20-2025