I roto i te hanga semiconductor, ko te miihini whakaahua whakaahua he taputapu matua e whakatau ana i te tika o nga maramara, me te turanga granite, me ona ahuatanga maha, kua waiho hei waahanga nui o te miihini whakaahua.
Te Pumau Ngaaariki: Ko te "Tiaki" ki nga Huringa Pawera
I te wa e mahi ana te miihini whakaahua whakaahua, ka puta he wera nui. Ahakoa te paheketanga o te pāmahana o te 0.1 ℃ noa iho ka paheke pea nga waahanga taputapu ka pa ki te tika o te whakaahua whakaahua. He iti rawa te whakarea o te roha waiariki o te granite, ko te 4-8 anake ×10⁻⁶/℃, he 1/3 o te maitai me te 1/5 o te konumohe koranu. Ma tenei ka taea e te turanga granite te mau tonu i te wa e mahi ana te miihini photolithography mo te wa roa, i te wa ranei ka huri te pāmahana o te taiao, me te whakarite i te tuunga tika o nga waahanga whatu me nga hanganga miihini.
Mahinga anti-wiri nui: Ko te "hautai" e mimiti ana i te wiri
I roto i te wheketere semiconductor, ko te mahi o nga taputapu huri noa me te neke o nga tangata ka taea te whakaputa wiri. He nui te kiato me te kakano maro o te Granite, a he tino pai nga ahuatanga whakamaarama, me te 2 ki te 5 nga wa o nga konganuku. Ka tukuna nga wiri o waho ki te turanga granite, ko te waku i waenga i nga tioata kohuke o roto ka huri i te kaha wiri ki te wera wera mo te tohanga, ka taea te whakaiti i te wiri i roto i te wa poto, ka taea e te miihini photolithography te whakahoki wawe i te pumau me te karo i te pupuhi me te hee o te tauira whakaahua whakaahua na te wiri.
Te pumau matū: Te "Kaitiaki" o te Taiao Ma
Ko te roto o te miihini whakaahua whakaahua ka uru atu ki nga momo matū matū, a, ko nga mea whakarewa noa ka ngawari ki te pirau, ki te tuku matūriki ranei. Ko te Granite he kohuke penei i te quartz me te feldspar. He mea matū pūmau me te ātete kaha te waikura. Whai muri i te ruku ki te waikawa me te wairewa alkali, he iti rawa te waikura o te mata. I tenei wa, ko tana hangahanga matoka e whakaputa tata kore he otaota, he puehu ranei, ka tutuki nga whakaritenga o nga paerewa teitei o te ruuma horoi me te whakaiti i te tupono o te poke angiangi.
Tukatuka urutau: Ko te "rauemi pai" mo te hanga tohu tohu tika
Ko nga waahanga matua o te miihini whakaahua whakaahua me whakauru ki runga i te mata tohutoro tino tika. Ko te hanganga o roto o te granite he rite, he ngawari ki te tukatuka ki te tino tika ma te huri, te oro me etahi atu tikanga. Ka taea e tona papatahi te tae ki te ≤0.5μm / m, a ko te roughness mata Ra ko ≤0.05μm, e whakarato ana i te turanga whakaurunga tika mo nga waahanga penei i nga arotahi mata.
Te roa o te oranga me te kore tiaki: Ko nga "taputapu koi" mo te whakaheke utu
Ka whakatauritea ki nga mea whakarewa e kaha ana ki te ngenge me te pakaru i runga i te whakamahinga mo te wa-roa, karekau e pa te kirikiri ki te whakakino kirihou, te pakaru ranei i raro i nga taumahatanga noa, a kaore e hiahiatia he maimoatanga mata, na reira ka karo i te tupono o te paninga tihorea me te poke. I roto i nga tono whaitake, i muri i te whakamahinga mo nga tau maha, ko nga tohu mahi matua o te turanga granite ka taea tonu te noho pumau, te whakaiti i nga utu mahi me te tiaki i nga taputapu.
Mai i te pumau o te waiariki, te atete wiri ki te koretake matū, ko nga ahuatanga maha o te turanga granite ka tutuki pai nga whakaritenga o te miihini whakaahua whakaahua. I te mea kei te tipu haere tonu te mahi hanga maramara ki te tino tika, ka whai waahi tonu nga turanga kirikiri ki te waahi o te hangahanga semiconductor.
Te wa tuku: Mei-20-2025