I roto i te waahi o te tirotiro angiangi semiconductor, ko te ma o te taiao horoi e pa ana ki te hua o te hua. I te mea kei te pai haere tonu nga mahi hanga maramara, kei te kaha haere nga whakaritenga mo te kawe i nga papa o nga taputapu rapu. Ko nga papaapapa Granite, me o raatau ahuatanga o te tuku katote kore whakarewa me te iti o te parahanga matūriki, kua hipa ake i nga taonga kowiri tira tawhito, ka waiho hei otinga pai mo nga taputapu tirotiro angiangi.
Ko te Granite he toka ngiha maori te nuinga o nga kohuke konganuku kore penei i te quartz, feldspar me te mica. Ko tenei ahuatanga ka whai painga ki te tuku katote kore whakarewa. He rereke, he kowiri tira, hei koranu o nga konganuku penei i te rino, te chromium me te nickel, he pai ki te waikura matū hiko i runga i te mata na te horo o te kohu wai me te hau waikawa waikawa, kawakore ranei i roto i te taiao ruma ma, ka puta te rerenga o nga katote whakarewa penei i te Fe²⁺ me Cr³⁺. Kia piri enei katote iti ki te mata o te angiangi, ka huri i nga ahuatanga hiko o te rauemi semiconductor i roto i nga mahi ka whai ake penei i te whakaahua whakaahua me te tarai, ka paheke ngaohiko paepae o te transistor, ka arai ki te ara iahiko poto i te ara iahiko. Ko nga raraunga whakamatautau a nga umanga ngaio e whakaatu ana i muri i te noho tonu o te papa kohatu ki te waahi whakamahana o te ruma ma me te makuku (23 ± 0.5 ℃, 45% ± 5% RH) mo nga haora 1000, ko te tukunga o nga katote whakarewa he iti ake i te rohe rapu (< 0.1ppb). Ko te reeti hapa o nga angiangi na te poke o te katote whakarewa i te wa e whakamahi ana i nga papaa kowiri tira ka eke ki te 15% ki te 20%.
I runga i te whakahaerenga o te parahanga matūriki, he pai hoki te mahi a nga papa kirikiri. He tino nui nga whakaritenga mo te kukū o nga matūriki iri i roto i te rangi. Hei tauira, i roto i nga ruma horoi ISO Class 1, ko te maha o nga matūriki 0.1μm e whakaaetia ana mo ia mita pūtoru e kore e neke ake i te 10. Ahakoa kua pahemo te maimoatanga o te raima kowiri tira, ka puta tonu he otaota konganuku, he tauine waikura ranei e tihorea atu ana na te kaha o waho penei i te wiri taputapu me te mahi a nga kaimahi, ka taea te whakararu i te ara o te mata o te angiangi. Ko nga papaapapa Granite, me o ratou hanganga kohuke matotoru (kiato ≥2.7g/cm³) me te pakeke teitei (6-7 ki te tauine Mohs), kaore e pai ki te kakahu, ki te pakaru ranei i te wa e whakamahia ana mo te wa roa. Ko nga ine ine e whakaatu ana ka taea e ratou te whakaheke i te kukū o nga matūriki iri i roto i te hau o te waahi taputapu rapu ma te neke atu i te 40% ka whakatauritea ki nga papaa kowiri tira, ka mau tonu i nga paerewa karaehe horoi.
I tua atu i ona ahuatanga ma, ko te mahi matawhānui o nga papa raima he nui atu i tera o te kowiri tira. I runga i te pumau o te waiariki, ko te whakarea o te roha waiariki anake (4-8) ×10⁻⁶/℃, iti iho i te haurua o te kowiri tira (mo te 17×10⁻⁶/℃), ka pai ake te pupuri i te tika o te tuunga o nga taputapu rapu ka rereke te pāmahana i roto i te ruma ma. Ka taea e te ahua o te whakamarumaru teitei (te 0.05) te whakaheke tere i te wiri o nga taputapu me te aukati i te ruirui o te tirotiro rapunga. Ko tana parenga waikura maori ka taea e ia te noho pumau ahakoa ka pa ki nga whakarewa photoresist, nga hau me etahi atu matū me te kore e hiahiatia he whakamarumaru paninga taapiri.
I tenei wa, kei te whakamahia nuitia nga papa kohatu i roto i nga tipu hanga angiangi. Ko nga raraunga e whakaatu ana i muri i te tango i te papa kohatu, kua heke te reeti pohehe o te kitenga matūriki o te mata angiangi ki te 60%, kua roa te huringa whakatikatika taputapu e toru nga wa, a kua heke te utu whakaputa katoa e 25%. I te wa e neke haere ana te ahumahi semiconductor ki te tino tika, ka mau tonu te tautoko a te papa kirikiri, me o raatau tino painga penei i te tuku katote kore whakarewa me te iti o te parahanga matūriki, ka mau tonu te tautoko mo te tirotiro angiangi, ka noho hei mana nui hei arahi i te ahunga whakamua o te umanga.
Te wa tuku: Mei-20-2025