I roto i te waahi o te ine tika, ko te pumau o te turanga taputapu ine ka whakatau tika i te pono o nga raraunga. Ko te raru o te inenga na te rerekeetanga o te waiariki o nga turanga rino kua roa e raru ana te umanga whakangao. Heoi ano, ko te papaaa taputapu ine ine maatai i whakarewahia e ZHHIMG, me tana tiwhikete tika taumata-AAA e pakaru ana i nga paerewa ahumahi, he otinga hurihuri mo te inenga tino tika.
Ko te matawaenga waiariki deformation o nga turanga rino: Ko te Kaipatu Ere e kitea o nga hapa ine
I whakamahia nuitia nga turanga rino ki te ine i nga taputapu na te iti o te utu me te pakari. Heoi, i roto i nga mahi whaihua, kua puta haere te koretake o te noho pai o te waiariki. Ko te whakarea o te roha wera o te rino maka he 11-12 ×10⁻⁶/℃. I te wa e mahi ana nga taputapu, ka rereke ranei te pāmahana ambient, he tino ngawari ki te rerekee o te waiariki. Hei tauira, ka huri te pāmahana ambient i roto i te awheawhe ma te 5 ℃, ka paheke pea te turanga rino i te 0.0055-0.006mm. Ko taua huringa iti ka huri tika te tohutoro ine, ka whakarea i te hapa ine.
I tua atu, ko te kawe wera o te turanga rino he koretake. I te wa e mahi ana nga taputapu, ko te whakamahana o te rohe ka puta he "paanga waiariki", ka puta he paheketanga me te paheketanga o te mata o te turanga. I roto i te inenga papatahi, ka taea e tenei whakarereketanga te paheketanga o te tuunga i waenga i te rangahau ine me te ahanoa e ine ana, ka mutu ka puta he raraunga inenga. E ai ki nga tatauranga ahumahi, mo te ine i nga taputapu me nga turanga rino, ko nga hapa i puta mai i te waiariki deformation kaute neke atu i te 40% o nga hapa katoa, ka tino pa ki te tika o te tirotiro i te kounga o te hua.
Ko te pakaruhanga hangarau o ZHHIMG granite platform: Te whakakore i te waiariki deformation mai i te pakiaka
Ko te ZHHIMG granite flatness ine inenga taputapu ka tango i te granite taiao hei rauemi turanga, hei whakaoti i te raru o te waiariki deformation mai i te mauri o te rauemi. Ko te whakarea o te roha waiariki o te kirikau he 5-7 ×10⁻⁶/℃ anake, he haurua noa iho o te rino maka. I tua atu, ko tona hanganga o roto he matotoru me te rite. Ahakoa i raro i nga huringa wera nui, ka taea e ia te pupuri i te rahi me te ahua. Ko nga raraunga taiwhanga e whakaatu ana i roto i te taiao me te rereketanga o te pāmahana o te 20 ℃, he iti iho i te 0.0014mm te rereketanga o te raina o te papa kohatu i te 0.0014mm, he iti noa iho.
I tua atu i nga painga o nga rawa, ka tango a ZHHIMG i te hangarau tukatuka ultra-precision. Na roto i nga tikanga miihini CNC me te whakakorikori, ka whakanuia te papatahi o te mata papaaho ki te ± 0.001mm / m, ka eke ki te taumata o runga o te umanga. I taua wa, he hanganga tuku ahotea ahurei te ahua o te honikoma kua hangaia ki roto i te papa, e whakakaha ake ana i te pakari i te wa e marara ana nga huringa meneti na te ahotea waiariki, me te whakarite kia mau tonu te tohutoro ine me te pono i nga wa katoa.
Tiwhikete tika taumata Aaa: He whakapumautanga kounga e tautokohia ana e te mana
Kua paahitia e te papaaapapa kowhatu ZHHIMG te tohu tohu AAA na tetahi umanga whai mana o te ao. Ko tenei paerewa tiwhikete e kii ana kia whakahaerea te hapa inenga o nga taputapu i roto i te ± 0.3μm i raro i nga huringa taiao maha penei i te mahana, te makuku me te wiri. Hei whakatutuki i tenei paerewa, kua whakatauhia e ZHHIMG tetahi punaha whakahaere kounga-katoa: mai i te tirotiro o te kirikiri kirikiri mata, te tukatuka tika ki te tirotiro i nga hua kua oti, ka tino tirotirohia ia hononga e nga taputapu tirotiro aunoa. Hei tauira, ka whakamahia he interferometer taiaho ki te whakahaere i te matawai taumata-micron o te mata papaaho kia pai ai te whakatika i te hapa papatahi. Ka whakamanahia te pumau o te waiariki ma te whakatauira i nga taiao tino nui ma te taiwhanga pāmahana me te makuku.
I roto i nga tono whaihua, kua whakaatuhia e te papaahi ZHHIMG nga painga nui i roto i nga umanga penei i nga semiconductors, nga arotahi whatu, me nga hangahanga tika. Whai muri i tetahi hinonga semiconductor i whakauru mai i tenei papaahi, ka heke te hapa inenga papatahi ma te 90%, ka piki ake te reeti hua hua ma te 15%, he pai te whakaoti i te raru o te mahi ano na nga hapa ine.
I runga i te papamuri o te whakamohoatanga o te umanga whakangao ki te tino tika me te mohio, kua tautuhia ano e te ZHHIMG granite flatness inenga taputapu ine te paerewa o te inenga tika me tana tino mana ki runga i te huringa waiariki me te tiwhikete tika taumata-AAA. Ehara i te mea he whakamana i te inenga pono mo nga umanga, engari e whakatairanga ana i te mokowhiti hangarau a te umanga mai i te "whakawa whakatau" ki te "kitenga tika".
Te wa tuku: Mei-12-2025