I roto i te mara o te hanga semiconductor, ko te tika o te iti-micron te matua ki te whakarite i te mahi maramara, me te turanga granite (ZHHIMG®), me ona rawa rawa, te tukatuka tika me te hoahoa auaha, kua noho hei taurangi matua mo te whakatutuki i tenei tino tika.
Mai i te tirohanga o nga rawa rawa, ko te kirikiri pango i tohua e ZHHIMG® he tata ki te 3100kg/m³, me te hanganga o roto. Ko tenei kiato teitei ka whakawhiwhia ki a ia ki te pumau me te pakari. I te wa e whakahaerehia ana nga taputapu semiconductor, ko te hurihanga o nga motuka me te nekehanga o nga waahanga miihini i roto i nga taputapu ka puta he wiri. Ka taea e te turanga granite te tango i runga i te 90% o te kaha wiri, ka tino whakaiti i te paanga o te wiri ki te tika o nga taputapu. I tenei wa, ko te iti rawa o te whakarea o te roha waiariki ka taea e ia te pupuri i tona whakarereketanga i roto i te awhe iti rawa i te wa e rereke ana te pāmahana ambient, e whakarato ana i te turanga tautoko mo nga taputapu semiconductor me te aukati i te nekehanga o nga waahanga taputapu na te huringa o te pāmahana, ka pa ki te tika.
Mo te tukatuka me te whakangao, ko te wheketere ZHHIMG® te whakamahi i nga taputapu tukatuka matatau o te ao, a e wha nga miihini miihini nui-nui (he utu mo ia miihini neke atu i te 500,000usd), ka taea te mahi i te hurihanga teitei i runga i te kirikiri. Na roto i te hononga hono e rima-tuaka CNC machining me etahi atu tukanga, ka taea e te papatahi o te turanga miihini te tae ki te taumata nanometer, te whakarato i te mata tohutoro ultra-flat mo te whakaurunga o nga taputapu semiconductor me te whakarite i te tuunga tika o ia waahanga o te taputapu. I tua atu, ko te awheawhe o te pāmahana me te makuku (e hipoki ana i te waahanga o te 10,000 mita tapawha) e whakarato ana i te taiao pumau mo te tukatuka. Ko te 500mm te whanui me te 2000mm te hohonu o nga awaawa anti-wiri a tawhio noa, me nga warou wahangu, he pai te wehe i te pokanoa wiri o waho me te whakarite i te tika o te tukatuka o te turanga miihini.
I tua atu, he kaha te kaha o te ZHHIMG® ki te whakarite. Mo nga whakaritenga motuhake o nga taputapu semiconductor, ka taea te hangai i nga rua whakaurunga tika me nga paepae taura ki te whakatutuki i te hototahi tino pai i waenga i nga taputapu me te turanga. I te wa ano, i roto i te whakakotahi me te metrology o te ao me nga taputapu whakamatautau penei i te German Mahr minute mehua (me te tika o te 0.5um) me te taumata hiko Swiss WYLER, ka tino tirotirohia te turanga miihini me te whakarite kia taea ai e ia turanga miihini te whakatutuki i nga whakaritenga tino o nga taputapu semiconductor mo te tika o te taumata iti-micron.
Na te whakakotahitanga o enei painga ka waiho te turanga kirikiri ZHHIMG® hei kowhiringa pono mo te whakatutuki i te tika iti-micron i roto i nga taputapu semiconductor, e awhina ana i nga mahi whakangao semiconductor ki te neke ki nga mara tino tika.
Te wa tuku: Hune-18-2025