I roto i nga mara penei i te hangahanga semiconductor me nga taputapu ine tika, ko te tika o nga papaapapa maamaa e whakatau tika ana i te kounga whakahaere o nga taputapu. Hei whakarite kia tutuki te tika o te papaapapa ki nga paerewa, me whakapau kaha mai i nga waahanga e rua: ko te kimi tohu matua me te whai i nga tikanga paerewa. ;
Te kitenga tohu matua: Te whakahaere tika-maha
Te rapunga papatahi: Te whakatau i te "papatahi" o te rererangi tohutoro
Ko te papatahi te tohu matua o nga papaapapa maramara, a ko te tikanga ka inehia e nga interferometers laser me nga taumata hiko. Ka taea e te interferometer laser te ine tika i nga nekehanga o te meneti i runga i te mata o te papa ma te tuku i te kurupae laser me te whakamahi i te kaupapa o te aukati marama, me te tika ka eke ki te taumata iti-micron. Ka ine te taumata hiko ma te neke i nga wa maha me te tuhi i te mapi taiwhanga-toru o te mata o te papaapapa kia kitea ai mena kei te kitea etahi kohanga o te rohe, he paheketanga ranei. Hei tauira, ko nga papa kohatu e whakamahia ana i roto i nga miihini whakaahua whakaahua semiconductor e hiahiatia ana kia ± 0.5μm/m, te tikanga ko te rereketanga teitei i roto i te 1 mita te roa kia kaua e neke ake i te haurua micrometer. Ma nga taputapu rapu tino tika ka taea te whakarite i tenei paerewa tino. ;
2. Te kimi tika: Me whakarite te "tika" o te nekehanga raina
Mo nga papa e mau ana i nga waahanga neke tika, he mea nui te tika. Ko nga tikanga noa mo te rapu ko te tikanga waea, ko te collimator laser ranei. Ko te tikanga waea ko te whakatārewa i nga waea rino tino tika me te whakatairite i te mokowhiti i waenga i te mata papaa me nga waea rino hei whakatau i te tika. Ka whakamahia e te collimator taiaho nga ahuatanga whakatōpū rārangi o te taiaho ki te kite i te hapa rārangi o te mata whakaurunga o te rail arataki papa. Ki te kore e tutuki te tika ki te paerewa, ka huri te taputapu i te wa e neke ana, ka pa ki te tukatuka, ki te tika ranei o te ine. ;
3. Te kitenga taratara mata: Me whakarite te "pai" o te whakapiri
Ko te taratara o te mata o te papa ka pa ki te pai o te whakaurunga o nga waahanga. Ko te tikanga, ka whakamahia he mita taratara stylus, he microscope whatu ranei hei kimi. Ko te taputapu momo stylus e tuhi ana i nga huringa teitei o te whakaahua moroiti ma te whakapiri atu ki te mata o te papa ma te tirotiro pai. Ka taea e nga microscopes whatu te mataki tika i te kakano o te mata. I roto i nga tono tino tika, me whakahaere te taratara o te mata o nga papa kirikiri ki te Ra≤0.05μm, he rite ki te ahua o te whakaata, me te whakarite kia pai nga waahanga tika i te wa o te whakaurunga me te karo i te wiri, te nekehanga ranei na nga waahi. ;
Ko nga paerewa tika e whai ana: nga tikanga o te ao me te mana whakahaere o roto o te hinonga
I tenei wa, puta noa i te ao, ko nga paerewa ISO 25178 me GB / T 24632 e whakamahia nuitia ana hei turanga mo te whakatau i te tika o nga papa kohatu, a he maamaa nga whakarōpūtanga mo nga tohu penei i te papatahi me te tika. I tua atu, ko nga hinonga whakangao teitei e whakatakoto ana i nga paerewa mana o roto. Hei tauira, ko te 30% teitei ake i te paerewa o te ao te whakaritenga papatahi mo te papa kirikiri o te miihini whakaahua. I te wa e whakahaere ana i nga whakamatautau, me whakataurite nga raraunga ine ki nga paerewa e rite ana. Ko nga papaaapapa anake e tino tutuki ana ki nga paerewa ka taea te whakarite i nga mahi pumau i roto i nga taputapu tika. ;
He kaupapa nahanaha te tirotiro i te tika o nga papaapapa kirikiri. Ma te tino whakamatautau i nga tohu matua penei i te papatahi, te tika, me te taratara o te mata, me te piri ki nga paerewa o te ao me te hinonga, ka taea te whakapumau i te tino tika me te pono o te turanga, te whakatakoto i te turanga pakari mo nga mara whakangao teitei penei i te semiconductors me nga taputapu tika.
Te wa tuku: Mei-21-2025