I roto i te mekameka tika o te hanga semiconductor, ko te punaha whakawhiti angiangi he rite ki te "raina ora o te raina hanga maramara", a ko tona pumau me te tika e whakatau tika ana i te reeti hua o nga maramara. Ko te reanga hou o nga punaha whakawhiti angiangi ka whakakotahi i nga motuka raina me nga turanga kirikiri, a ko nga painga ahurei o nga rawa kirikiri ko te tohu matua hei iriti i te tuku mahi nui.
;
Te turanga Granite: Hangaia he "tupapa toka-toka" mo te tuku pumau
Ko te Granite, he rau miriona tau te whakamahinetanga o te whenua, e whakaatu ana i te whakatioatanga kohuke o roto me te riterite. Ko tenei ahuatanga taiao he mea tino pai mo nga punaha whakawhiti angiangi. I roto i te taiao matatini o nga ruma horoi semiconductor, granite, me tona whakarea ultra-iti o te roha waiariki (anake 5-7 × 10⁻⁶ / ℃), ka taea te tu atu i te wera i hangaia i te wa e mahi ana nga taputapu me te awe o nga huringa pāmahana taiao, te whakarite i te pumau o te rahi o te turanga me te karo i te rereketanga o te huarahi whakawhiti i puta mai i te rereketanga o te waiariki. Ko tana mahi whakahirahira wiri ka taea te tango tere i nga wiri miihini i hangaia i te wa o te tiimata, te kati me te whakatere o nga motuka raina, tae atu ki nga pokanoa o waho i kawea mai e te mahi o etahi atu taputapu i roto i te awheawhe, e whakarato ana i te papaa pumau me te "kore wiri" mo te tuku wafer. ;
I tenei wa, ko te pumau matū o te kirikiri ka whakarite kia kore e waikura, kia waikura ranei i roto i nga awheawhe semiconductor kei reira nga reagents waikawa me te kawakore e kaha ana te maemaa, na reira ka karo i te pa ki te tika o te tuku na te koroheketanga o nga rawa, te whakaurunga poke ranei. Ko nga ahuatanga o te mata maeneene me te matotoru ka taea te whakaiti i te taapiri o te puehu, te whakatutuki i nga paerewa kore-puehu o nga ruma ma me te whakakore i te tupono o te poke angiangi mai i te pakiaka. ;
Ko te huanga "hoahoa koura" o nga motuka raina me te kirikiri
Ko nga motuka raina, me o raatau ahuatanga o te kore o te miihini whakawhiti miihini, te tere tere me te tere tere whakautu, ka whakawhiwhia te tuku wafer me nga painga o te "tere, tika me te pumau". Ko te turanga granite e whakarato ana i te turanga tautoko pakari me te pono mo taua mea. Ka mahi tahi te tokorua ki te eke ki te ekenga o te mahi. Ka peia e te motuka raina te kaikawe angiangi ki te rere i runga i te ara turanga granite, ko te kaha o te rigidity me te pumau o te turanga ka whakarite i te pai o te tuku o te motuka taraiwa, te karo i te ngaronga kaha, te tuku takamuri ranei na te rerekee o te turanga. ;
I peia e te tono mo te tika nanoscale, ka taea e nga motuka raina te whakatutuki i te mana nekehanga iti-micron-level. Ko nga ahuatanga tukatuka tino tika o nga turanga kirikiri (me nga hapa papatahi e whakahaerehia ana i roto i te ± 1μm) ka tino rite ki te mana tika o nga motuka raina, me te whakarite kia iti ake te hapa tuunga i te wa tuku angiangi i te ± 5μm. Ahakoa he tere tere i waenga i nga momo taputapu mahi, he waka tika ranei mo te tuku wafer, ma te whakakotahitanga o nga motuka raina me nga turanga kirikiri ka taea te "kore rereke me te kore jitter" ki te tuku wafer. ;
Manatokonga mahi a te Ahumahi: Kia rua te whakapai ake i te pai me te reiti hua
Whai muri i te whakapai ake i tana punaha whakawhiti angiangi, ka mau tetahi hinonga semiconductor puta noa i te ao he miihini raina + otinga turanga granite, i piki ake ai te pai o te whakawhiti angiangi ki te 40%, i whakahekehia te reiti o nga hapa penei i te tukinga me te whakatiki i te wa o te whakawhiti ma te 85%, me te whakapai ake i te reeti hua o nga maramara e 6%. Kei muri i nga raraunga ko te taurangi mo te pumau o te tuku e whakaratohia ana e te turanga granite me te tere-tere me te tino tika o te motika raina, e tino whakaiti ana i te mate me te hapa i roto i te tukanga tuku wafer. ;
Mai i nga taonga rawa ki te hanga tika, mai i nga painga o te mahi ki te manatoko mahi, ko te whakakotahitanga o nga motuka raina me nga turanga granite kua tautuhi ano i nga paerewa o nga punaha whakawhiti wafer. I te wa kei te heke mai ka anga whakamua te hangarau semiconductor ki nga tikanga 3nm me te 2nm, ka mau tonu nga taonga kirikiri ki te wero i te kaha ki te whanaketanga o te umanga me o raatau painga kore e taea te whakakapi.
Te wa tuku: Mei-14-2025