I roto i te mara o te inenga tino tika, ko te papaaapapa maamaa me tona tino pai, te pakeke me te pai o te kakahu, kua riro hei tautoko turanga pai mo te maha o nga mahi ine-nui. Heoi, ko nga rereketanga o te pāmahana i roto i nga ahuatanga o te taiao, penei i te "whakamate tika" e huna ana i roto i te pouri, karekau e paopao ki te tika o te inenga o te papaapapa kirikiri. He mea nui te whakatewhatewha i te paepae awe mo te whakarite i te tika me te pono o te mahi ine.
Ahakoa e mohiotia ana te granite mo tona pumautanga, kaore i te aukati i nga huringa pāmahana. Ko ona waahanga matua ko te quartz, feldspar me etahi atu kohuke, ka puta mai te roha waiariki me te ahua whakaheke i nga ahuatanga rereke. Ka piki ake te pāmahana ambient, ka whakawerahia te papaapapa tika o te granite ka whakawhanuihia, ka rereke te rahi o te papa. Ka heke te pāmahana, ka hoki ki tona ahua taketake. Ko te ahua o nga huringa rahi iti ka taea te whakanui ki nga mea matua e pa ana ki nga hua ine i roto i nga ahuatanga ine tika.
Ka mau te ruruku noa i nga taputapu ine e rite ana ki te papa kirikiri hei tauira, i roto i te mahi ine tino tika, ka eke nga whakaritenga tika ine ki te taumata micron teitei ake ranei. E kiia ana ko te paerewa paerewa o te 20 ℃, he ahua pai nga momo tawhā inenga o te turanga, a ka taea te whiwhi raraunga tika ma te ine i te taputapu mahi. Ka rere ke te pāmahana ambient, he rereke te ahuatanga. I muri i te maha o nga tatauranga raraunga whakamatautau me te tātaritanga ariā, i raro i nga ahuatanga noa, ko te rereketanga o te pāmahana taiao o te 1 ℃, ko te roha raina, te whakaheke ranei o te papaaapapa maamaa mo te 5-7 × 10⁻⁶ / ℃. Ko te tikanga tenei mo te papa kirikiri me te roa o te taha o te mita 1, ka huri pea te roa o te taha ki te 5-7 microns mena ka huri te pāmahana ma te 1 ° C. I nga inenga tika, he nui te whakarereketanga o te rahi ki te whakaputa i nga hapa ine i tua atu i te awhe e manakohia ana.
Mo nga mahi inenga e hiahiatia ana e nga taumata tika rereke, he rereke ano te paepae awe o te rereketanga o te pāmahana. I roto i te inenga tika, penei i te ine rahi o nga waahanga miihini, mena ko te hapa inenga e whakaaetia ana kei roto i te ± 20 microns, kia rite ki te tatauranga whakarea o runga ake nei, me whakahaere te rereketanga o te pāmahana i roto i te awhe o ± 3-4 ℃, kia taea ai te whakahaere i te hapa ine i puta mai i te huringa rahi o te papa i te taumata e manakohia ana. I nga waahi me nga whakaritenga tino tika, penei i te inenga o te mahi lithography i roto i te hanga maramara semiconductor, ka whakaaetia te hapa i roto i te ± 1 micron, a me tino whakahaere te rereketanga o te pāmahana i roto i te ± 0.1-0.2 ° C. Ina eke te rereketanga o te pāmahana i tenei paepae, ka pa te whakamaarama me te whakahekenga o te paparanga kirikiri ki nga hua o te inenga o te maramara.
Hei whakatau i te awe o te rerekee o te pāmahana ambient i runga i te ine inenga o te papaapapa kirikiri, he maha nga mehua ka whakamahia i roto i nga mahi mahi. Hei tauira, ka whakauruhia nga taputapu pāmahana pumau ki roto i te taiao ine hei whakahaere i te rereketanga o te pāmahana i roto i te awhe iti rawa; Ko nga utu inenga ka mahia i runga i nga raraunga inenga, a ka whakatikahia nga hua inenga e te raupaparorohiko algorithm i runga i te whakarea whakareatanga wera o te papaaho me nga huringa pāmahana-waahi. Heoi, ahakoa he aha nga mehua ka mahia, ko te maaramatanga tika o te paanga o te rereketanga o te pāmahana ambient i runga i te tika o te inenga o te papaapapa maramara ko te kaupapa o te whakarite i nga mahi ine tika me te pono.
Wā tuku: Apr-03-2025