1. Te tika o te ahu
Papatahi: ko te papatahi o te mata o te turanga me eke ki te taumata teitei rawa, me te hapa o te papatahi kaua e neke ake i te ± 0.5μm i roto i tetahi waahanga 100mm × 100mm; Mo te rererangi turanga katoa, ka whakahaerehia te hapa papatahi i roto i te ± 1μm. Ma tenei ka whakarite ko nga waahanga matua o nga taputapu semiconductor, penei i te upoko whakakitenga o nga taputapu lithography me te teepu tirotiro o te taputapu rapu maramara, ka taea te whakauru me te whakahaere i runga i te waka rererangi teitei, te whakarite i te tika o te ara whatu me te hononga ara iahiko o nga taputapu, me te karo i te rerekeetanga o nga waahanga i puta mai i te rererangi koretake o te maramara me te whakangao.
Tika: Ko te tika o ia tapa o te turanga he mea nui. I roto i te ahunga o te roa, ko te hapa tika kaua e neke ake i te ± 1μm ia 1m; Ko te hapa tika hauroki ka whakahaerehia i roto i te ±1.5μm. Ko te tango i te miihini tuhi-nui hei tauira, ina neke te teepu ki te taha o te reera kaiarahi o te turanga, ko te tika o te tapa o te turanga ka pa ki te tika o te tepu. Ki te kore e eke te tika ki te paerewa, ka kotiti ke te tauira tuhi tuhi, ka paheke, ka heke te hua o te hanga maramara.
Whakarara: Ko te hapa whakarara o nga papa o runga me raro o te turanga me whakahaere i roto i te ±1μm. Ka taea e te whakarara pai te whakapumau i te pumau o te pokapū o te kaha i muri i te whakaurunga o nga taputapu, ka rite te kaha o ia waahanga. I roto i nga taputapu hanga angiangi semiconductor, ki te kore e rite nga papa o runga me raro o te turanga, ka tahoro te angiangi i te wa e tukatuka ana, ka pa ki te riterite o te tukanga penei i te tarai me te paninga, na reira ka pa ki te riterite o te mahi maramara.
Tuarua, nga ahuatanga o te taonga
Maamaa: Ko te pakeke o te papanga papa kohatu kia eke ki te Shore hardness HS70 ki runga ake ranei. Ka taea e te pakeke teitei te aukati i nga kakahu i puta mai i nga nekehanga maha me te waku o nga waahanga i te wa e mahi ana nga taputapu, me te whakarite ka taea e te turanga te pupuri i te rahi o te rahi i muri i te whakamahinga mo te wa roa. I roto i nga taputapu kapi maramara, he maha nga wa ka mau te ringa karetao me te tuu i te maramara ki runga i te turanga, ka taea e te pakeke teitei o te turanga te whakarite kia kore e ngawari te mata ki te whakaputa rakuraku me te pupuri i te tika o te nekehanga ringa karetao.
Kiato: Me noho te kiato rawa i waenga i te 2.6-3.1 g/cm³. Ko te kiato e tika ana ka pai te kounga o te turanga, ka taea e koe te whakarite i te pakari ki te tautoko i nga taputapu, kaore hoki e raru ki te whakaurunga me te kawe i nga taputapu na te nui o te taumaha. I roto i nga taputapu tirotiro semiconductor nui, ka awhina te kiato turanga pumau ki te whakaiti i te tuku wiri i te wa e mahi ana nga taputapu me te whakapai ake i te tika o te kitenga.
Te pūmautanga wera: he iti iho i te 5×10⁻⁶/℃ te whakarea roha rārangi. Ko nga taputapu Semiconductor he tino aro ki nga huringa o te pāmahana, a ko te pumau o te waiariki o te turanga e pa ana ki te tika o nga taputapu. I te wa o te mahi litography, ka taea e nga rereketanga o te pāmahana te roha, te whakaheke ranei o te turanga, ka puta he rereke te rahi o te tauira whakakitenga. Ko te turanga granite me te iti o te whakarea roha raina ka taea te whakahaere i te huringa rahi i roto i te awhe iti rawa ka huri te pāmahana whakahaere o nga taputapu (te nuinga 20-30 ° C) ki te whakarite i te tika o te lithography.
Tuatoru, te kounga o te mata
Roughness: Ko te roughness mata Ra uara i runga i te turanga e kore e neke ake i te 0.05μm. Ka taea e te mata ultra-maeneene te whakaheke i te whakaurunga o te puehu me te poke me te whakaiti i te paanga ki te ma o te taiao hanga maramara semiconductor. I roto i te awheawhe kore-puehu o te hanga maramara, ko nga matūriki iti ka arahi ki nga hapa penei i te porowhita poto o te maramara, a ko te mata maeneene o te turanga ka awhina ki te pupuri i te taiao ma o te awheawhe me te whakapai ake i te hua maramara.
Nga hapa moroiti: Ko te mata o te turanga kaore e whakaaetia kia kitea he kapiti, he kohao kirikiri, he pore me etahi atu hapa. I te taumata moroiti, ko te maha o nga hapa me te diameter nui ake i te 1μm mo ia henimita tapawha kaua e neke ake i te 3 ma te miihini hiko. Ko enei hapa ka pa ki te kaha o te hanganga me te papatahi o te mata o te turanga, katahi ka pa ki te pumau me te tika o nga taputapu.
Tuawha, te pumau me te awangawanga ohorere
Pumautanga hihiko: I roto i te taiao wiri whakatairite i hangaia e te mahi o nga taputapu semiconductor (awhe auau wiri 10-1000Hz, tiwerawera 0.01-0.1mm), me whakahaere te wiri o nga tohu whakapuru matua i runga i te turanga i roto i te ± 0.05μm. Ko te tango i nga taputapu whakamatautau semiconductor hei tauira, mena ka tukuna te wiri o te taputapu me te wiri taiao a tawhio noa ki te turanga i te wa e mahi ana, ka raru pea te tika o te tohu whakamatautau. Ka taea e te pumautanga hihiri pai te whakarite i nga hua whakamatautau pono.
Te parenga ru: Me tino pai te mahi a te turanga, a ka taea e ia te whakaheke tere i te kaha wiri i te wa e pa ana ki te wiri o waho ohorere (penei i te wiri whaihanga ngaru ru), me te whakarite kia huri te waahi o nga waahanga matua o nga taputapu i roto i te ± 0.1μm. I roto i nga wheketere semiconductor i nga waahi e ru ana, ka taea e nga turanga atete-ru te tiaki i nga taputapu semiconductor utu nui, me te whakaiti i te tupono o te pakaru o nga taputapu me te pakaru o te whakaputa na te wiri.
5. Te pumau matū
Te parenga waikura: Ko te turanga granite me tu ki te waikura o nga matū matū noa i roto i te mahi hangahanga semiconductor, penei i te waikawa hydrofluoric, aqua regia, me etahi atu. I muri i te whakamakuku i roto i te wairewa waikawa hydrofluoric me te hautanga papatipu o te 40% mo nga haora 24, kaore e nui ake te mate o te kounga o te mata ki te 0.01%; Rukuhia ki roto i te wai regia (te rahinga o te waikawa waikawa ki te waikawa nitric 3:1) mo te 12 haora, karekau he tohu waikura i runga i te mata. Ko te tukanga hangahanga semiconductor he maha nga momo matū me te horoi horoi, a, ko te pai o te waikura o te turanga ka taea te whakarite kia kore e pakaru te whakamahinga mo te wa roa i roto i te taiao matū, ka mau tonu te tika me te hanganga o te hanganga.
Anti-pollution: Ko te rauemi turanga he iti rawa te whakauru o nga parahanga noa i roto i te taiao hangahanga semiconductor, penei i nga hau pararopi, nga katote whakarewa, me era atu. Ina whakanohoia ki roto i te taiao kei roto 10 PPM o nga hau waro (hei tauira, benzene, toluene) me te 1ppm o nga katote whakarewa (hei tauira, te katote parahi, nga katote rino, me te whakarereketanga o te mata o te turanga 72. he iti noa. Ma tenei ka aukati i nga mea poke ki te heke mai i te mata turanga ki te waahi hanga maramara me te pa ki te kounga o te maramara.
Te wa tuku: Maehe-28-2025