I roto i nga mara o te hanga tiketike-mutunga, me te tapahi-mata rangahau pūtaiao, pū pateko pēhanga pateko rangi māngi tüäpapa nekehanga ko te taputapu matua ki te whakatutuki mahi ultra-pū. Ko te turanga tika o te granite te waahanga tautoko matua o te papaahi, a ko tana mahi e hono tata ana ki te taiao mahi. Ko te mohio me te whakatutuki i enei whakaritenga taiao e kore e taea anake te whakarite i te mahi tino tika o te papaahi, engari he waahanga nui ano hoki o te hinonga hei whakarei ake i tana whakataetae ki nga waahi e pa ana, e whakaahuahia ana i raro nei.
1. Te Temahana: te whakahaere tika kia mau tonu te ahua
Ahakoa e mohiotia ana te granite mo tona pumau, ko te whakarea o te roha waiariki ehara i te kore, a ka raru tonu nga huringa pāmahana iti ki te tika o te ahu. I te nuinga o te korero, ko te whakarea whakareatanga waiariki o te granite ko 5-7 ×10⁻⁶/℃. I roto i te ahuatanga o te tono o te pehanga pateko e rere ana i te papa nekehanga o te rangi, ka whakanuia tenei huringa iti e te turanga, tera pea ka paheke te tika o te nekehanga. Hei tauira, i roto i te tukanga hangahanga maramara semiconductor, te tukanga lithography mo te tuunga i nga whakaritenga tika o te taumata danami, te rerekee o te pāmahana ambient o 1 ° C, ko te roa o te taha o te 1 mita te turanga granite ka whakaputa i te 5-7 microns o te roha raina, te whakaheke ranei, he mea nui ki te hanga i te tauira lithography maramara i rereke, ka whakaiti i te hua. Na reira, ko te tino pai o te pateko o te pehanga hau e rere ana me te turanga tika o te kirikiri, me tino whakahaere te pāmahana taiao mahi pai ki te 20 ° C ± 1 ° C, ka taea e nga hinonga te whakauru i te punaha whakamahana rangi-nui-nui, te aro turuki me te whakatika tika i te pāmahana ambient, kia mau tonu te rahi o te turanga o te papa kirikiri, kia pai ai te mahi o te turanga.
2.humidity: mana whaitake, tiaki i te mahi turanga
He nui ano te paanga o te haumākū ki runga i nga turanga kirikiri tika. I roto i te taiao haumākū tiketike, he ngawari ki te tango i te kohu wai te kirikiri, a tera pea he condensation i runga i te mata, e kore e pokanoa ki te mahi noa o te punaha rererangi o te rangi, engari ka arahi ano hoki ki te paheketanga mo te wa roa o te mata kirikiri, ka whakaiti i te tika me te oranga mahi. Ko te tango i te awheawhe hurihuri o te mata whatu hei tauira, ki te mea he teitei ake te makuku i te 60% RH mo te wa roa, ko te kohu wai ka uru ki runga i te mata o te papa kirikiri ka whakangaro i te riterite o te kiriata rererangi rangi, ka puta te heke o te tika o te hurihanga o te arotahi me nga hapa o te mata. Na reira, me whakahaere te makuku o te taiao mahi i waenga i te 40% -60% RH. Ka taea e nga umanga te whakamahi i nga whakamaaramatanga, nga pūoko haumākū me etahi atu taputapu ki te aro turuki me te whakahaere i te makuku i roto i te waa tuuturu, te hanga i tetahi taiao makuku e tika ana mo te turanga kirikiri tika, me te whakarite kia mau te mahi o te pehanga pateko e rere ana i te papa nekehanga.
3. ma: tino whakahaere, whakakore matūriki pokanoa
Ko nga matūriki puehu ko te "hoariri" o te pehanga pateko e rere ana i te papa nekehanga o te rangi, a he nui te kino ki te turanga kirikiri. Ka uru atu nga matūriki iti ki te aputa kiriata hau i waenga i te riipene rewa hau me te turanga kirikiri, ka ngaro pea te rite o te kiriata hau, ka nui ake te waku, tae atu ki te rakuraku i te mata o te turanga, ka tino pa ki te tika o te nekehanga o te papa. I roto i te awheawhe miihini tino tika o nga waahanga aerospace, mena ka taka nga matūriki puehu o te rangi ki runga i te turanga kirikiri, ka rereke te nekehanga o te taputapu miihini, ka pa ki te tika o te miihini o nga waahanga. No reira, me noho ma te waahi mahi me te eke ki te paerewa maemaa o te 10,000 teitei ake ranei. Ka taea e nga umanga te tarai i nga matūriki puehu i te rangi ma te whakauru i nga whiriwhiringa hau tino pai (HEPA), me te tono kia mau nga kaimahi i nga kakahu kore-puehu, nga uhi hu, me etahi atu, hei whakaiti i te puehu i kawea mai e te tangata, me te pupuri i te taiao mahi tino tika o te turanga kirikiri me te tino tika o te pehanga pateko o te rangi e rere ana te papa nekehanga.
4. Wiri: Wehenga whai hua hei hanga i te waahi maeneene
Ka tino whakararu te wiri o waho ki te tika o te pehanga pateko e rere ana i te papaarangi rererangi, ahakoa he kaha te whakakorikori i te turanga o te granite, engari ka pakaru tonu te wiri kaha teitei i tona rohe aukati. Ko te wiri i hangaia e nga waka huri noa i te wheketere me te mahi o nga taputapu miihini nui ka tukuna ki te turanga granite i roto i te whenua, ka raru i te tika o te nekehanga o te papa. I roto i te CMM teitei, ka taea e te wiri te ine i te whakapiri i waenga i te tirotiro ine me te mea mahi kia kore e mau, ka puta he rerekee o nga raraunga ine. Hei whakatau i tenei raru, he mea tika ki te tango i nga tikanga motuhake o te wiri, penei i te whakatakoto i nga papa wehe wiri i roto i te waahi whakaurunga taputapu, te hanga i te turanga wehenga wiri, te whakamahi ranei i te punaha wehenga wiri kaha ki te whakakore i te wiri o waho, me te hanga i tetahi taiao mahi noho humarie me te pumau mo te turanga o te kirikiri me te pehanga hiko o te rangi e rere ana.
Te whakatutuki i nga whakaritenga o te taiao i runga ake nei, kia pai ai te takaro ki nga painga o te turanga o te kirikiri totika i roto i te pehanga pateko o te hau e rere ana i runga i te kaupapa, hei whakarite kia whakaratohia e te papaahi nga ratonga whakahaere motini-nui me te pumau mo nga momo ahumahi. Mena ka taea e nga hinonga te aro ki enei korero i roto i te taiao whakangao, ka hopukina e ratou te whai waahi ki te hanga tika, te rangahau pūtaiao me etahi atu mara, te whakarei ake i o raatau whakataetae, me te whakatutuki i te whanaketanga taumau.
Wā tuku: Apr-10-2025