;
I roto i te mara o te hanga semiconductor, e whai ana i te tino tika, ko te whakarea o te roha wera tetahi o nga tawhā matua e pa ana ki te kounga o te hua me te pumau o te whakaputa. I roto i te katoa o te mahi mai i te whakaahua whakaahua, te tuhi ki te kapi, ka taea e nga rereketanga o te whakareatanga whakareatanga whakawhaariki o nga rawa te whakararu i te tika o te hanga i nga huarahi maha. Heoi, ko te turanga kowhatu, me tona whakarea whakareatanga waiariki ultra-iti, kua noho hei matua ki te whakaoti i tenei raru. ;
Te tukanga Lithography: Ko te rerekeetanga o te ngaaahu ka paheke te tauira
Ko te Photolithography tetahi taahiraa matua i roto i te hanga semiconductor. Ma te miihini whakaahua whakaahua, ka whakawhitia nga tauira ara iahiko i runga i te kanohi kanohi ki te mata o te angiangi kua pania ki te photoresist. I roto i tenei mahi, he mea nui te whakahaere waiariki i roto i te miihini whakaahua whakaahua me te pumau o te tepu mahi. Tangohia nga taonga whakarewa tawhito hei tauira. Ko te whakarea o te roha wera he 12×10⁻⁶/℃. I te wa e mahi ana te miihini whakaahua whakaahua, ko te wera i puta mai i te puna rama laser, nga arotahi whatu me nga waahanga miihini ka piki ake te pāmahana taputapu ki te 5-10 ℃. Mēnā ka whakamahi te tepu mahi a te mihini litography i te turanga whakarewa, ma te turanga 1 mita te roa ka puta kee o te 60-120 μm te roha, katahi ka huri te tuunga i waenga i te kopare me te angiangi. ;
I roto i nga tukanga whakangao matatau (penei i te 3nm me te 2nm), he iti noa nga nanometer te mokowhiti transistor. Ko te ahua iti o te waiariki e ranea ana kia hee ai te tauira whakaahua whakaahua, e arai atu ai ki nga hononga transistor rerekee, ara iahiko poto, ara iahiko tuwhera ranei, me etahi atu take, ka hua mai i te korenga o nga mahi maramara. Ko te whakarea roha waiariki o te turanga granite he iti ki te 0.01μm/°C (arā, (1-2) ×10⁻⁶/℃), me te deformation i raro i te huringa pāmahana kotahi he 1/10-1/5 anake o te whakarewa. Ka taea e ia te whakarato i tetahi papaa maui mo te miihini whakaahua whakaahua, me te whakarite i te whakawhitinga tika o te tauira whakaahua whakaahua me te tino whakapai ake i te hua o te hanga maramara. ;
Te wetewete me te whakatakoto: Ka pa ki te tika o te ahu o te hanganga
Ko te tarai me te waipara nga tikanga matua mo te hanga hanganga ara iahiko toru-ahu ki runga i te mata angiangi. I te wa e mahi ana, ka uru te hau hohenga ki tetahi tauhohenga matū me te papanga mata o te angiangi. I taua wa, ko nga waahanga penei i te tuku hiko RF me te whakahaere hau i roto i nga taputapu ka whakaputa wera, ka piki ake te mahana o te wafer me nga taputapu taputapu. Ki te kore te whakarea o te roha waiariki o te kawe angiangi, turanga taputapu ranei e rite ana ki tera o te angiangi (ko te whakarea o te roha waiariki o nga rawa silicon he tata ki te 2.6×10⁻⁶/℃), ka puta te ahotea waiariki ina huri te pāmahana, tera pea ka pakaru iti, ka pakaru ranei i te mata o te angiangi. ;
Ko tenei ahua o te rereke ka pa ki te hohonu o te tarai me te poutū o te pakitara taha, ka kotiti ke te rahi o nga awaawa, na roto i nga rua me etahi atu hanganga i nga whakaritenga hoahoa. Waihoki, i roto i te tukanga waipara kiriata angiangi, ko te rereketanga o te roha wera ka puta te ahotea o roto i te kiriata angiangi kua whakatakotoria, ka puta he raru penei i te pakaru me te tihorenga o te kiriata, ka pa ki te mahi hiko me te pono mo te wa roa o te maramara. Ma te whakamahi i nga turanga kirikiri me te whakarea whakareatanga whakareatanga waiariki e rite ana ki tera o nga rauemi silicon ka taea te whakaiti i te ahotea waiariki me te whakarite i te pumau me te tika o nga mahi tarai me te tuku. ;
Wāhanga mōkihi: Ko te kore ōritenga o te wera ka puta he take pono
I roto i te atamira whakangao semiconductor, he mea tino nui te hototahitanga o nga whakarea whakareatanga whakareatanga waiariki i waenga i te maramara me nga taonga whakangao (penei i te kapia epoxy, karaima, aha atu.). He iti noa te whakarea whakareatanga wera o te silicon, te mea matua o te maramara, engari he teitei te ahua o te nuinga o nga taonga kapi. Ka huri te pāmahana o te maramara i te wa e whakamahia ana, ka puta te ahotea waiariki i waenga i te maramara me te taonga takai na te kore o te taurite o nga whakarea roha wera. ;
Ko tenei ahotea waiariki, i raro i te paanga o nga huringa o te pāmahana (penei i te whakamahana me te whakamahana i te wa e mahi ana te maramara), ka pakaru te ngenge o nga hononga konutai i waenga i te maramara me te taputapu takai, ka taka ranei nga waea honohono i runga i te mata maramara, ka mutu te kore o te hononga hiko o te maramara. Na roto i te kowhiri i nga taonga taputapu taputapu kapi me te whakarea whakareatanga whakawhaariki e tata ana ki nga rawa o te silicon me te whakamahi i nga papaa whakamatautau granite me te tino pai o te waiariki mo te kitenga tika i te wa o te whakangao, ka taea te whakaiti i te raru o te koretake o te waiariki, ka taea te whakapai ake i te pono o te kapi, me te roa o te oranga o te maramara. ;
Te mana whakahaere o te taiao: Ko te pumau o nga taputapu me nga whare wheketere
I tua atu i te pa tika ki te mahi hangahanga, ko te whakarea o te roha waiariki e pa ana ki te mana whakahaere taiao o nga wheketere semiconductor. I roto i nga awheawhe whakangao semiconductor nui, ko nga mea penei i te tiimata me te whakamutu o nga punaha whakamahana hau me te wera o nga tautau taputapu ka taea te rerekee o te pāmahana taiao. Mena he tiketike rawa te whakarea o te roha waiariki o te papa wheketere, nga turanga taputapu me etahi atu hanganga, ka huri te pāmahana mo te wa roa ka pakaru te papa, ka huri te turanga taputapu, na reira ka pa ki te tika o nga taputapu tika penei i nga miihini whakaahua whakaahua me nga miihini tarai. ;
Ma te whakamahi i nga turanga granite hei tautoko taputapu me te whakakotahi ki nga taonga hangahanga wheketere me te iti o te whakareatanga whakareatanga waiariki, ka taea te hanga i tetahi taiao whakangao pumau, me te whakaiti i te auau o te whakatikatika taputapu me nga utu tiaki na te huringa waiariki o te taiao, me te whakarite i te mahi pumau o te raina whakaputa semiconductor. ;
Ko te whakarea o te roha waiariki ka rere i roto i te huringa ora katoa o te hanga semiconductor, mai i te kowhiringa rauemi, te mana whakahaere ki te takai me te whakamatautau. Me tino whakaaro te paanga o te roha wera i ia hononga. Ko nga turanga Granite, me o raatau whakarea iti-iti o te roha wera me etahi atu mea tino pai, ka whai turanga tinana mo te hanga semiconductor, ka waiho hei taurangi nui mo te whakatairanga i te whanaketanga o nga mahi hanga maramara ki te tino tika.
Te wa tuku: Mei-20-2025