;
I roto i te mara o te hanga semiconductor, ko te tika o nga taputapu tirotiro angiangi ka whakatau tika i te kounga me te hua o nga maramara. I te mea ko te turanga e tautoko ana i nga waahanga rapunga matua, ko te whakapumautanga o te rahinga o nga rauemi turanga taputapu ka whai waahi nui ki te mahi mo te wa roa o nga taputapu. Ko te Granite me te rino e rua e whakamahia nuitia ana mo nga taputapu tirotiro angiangi. He rangahau whakatairite 10-tau kua kitea nga rereketanga nui i waenga i a raatau mo te pumau o te ahu, e whakarato ana i nga tohutoro nui mo te kowhiringa taputapu. ;
Whakamātautau Papamuri me te Hoahoa
Ko te tukanga whakaputa o nga wafers semiconductor he tino nui nga whakaritenga mo te tika o te kitenga. Ahakoa te ine ine ine taumata-micrometer ka paheke te mahi maramara, ka pakaru ranei. Hei tuhura i te ahua mau o te kirikiri me te rino i te wa e whakamahia ana mo te wa roa, i hangaia e te roopu rangahau nga whakamatautau e whakataurite ana i nga taiao mahi tuturu. Ko nga tauira kirikiri me te rino rino o te tohu kotahi i tohua, ka tuuhia ki roto i te ruma taiao i rereke ai te pāmahana mai i te 15 ℃ ki te 35 ℃ me te makuku mai i te 30% ki te 70% RH. Ko te wiri miihini i te wa e mahi ana nga taputapu i whakatairitehia ma te tepu wiri. Ko nga rahinga matua o nga tauira i inehia ia hauwhä ma te whakamahi i te interferometer laser tino tika, a ka tuhia nga raraunga mo te 10 tau. ;
Hua whakamātautau: Ko te tino painga o te granite
Tekau nga tau o nga raraunga whakamatautau e whakaatu ana ko te papa kohatu e whakaatu ana i te tino pumau. He iti rawa te whakarea o te roha waiariki, ko te 4.6×10⁻⁶/℃ noa iho. I raro i nga huringa o te pāmahana, ka whakahaerehia te ine ine i roto i te ± 0.001mm. I mua i nga huringa o te makuku, na te hangai mato o te kirikiri karekau e pa, karekau he huringa inenga ine. I roto i te taiao wiri mihini, ko nga ahuatanga whakamaarama pai o te granite ka kaha te tango i te kaha wiri, a he iti rawa te rereketanga o te ahu. ;
He rereke, mo te taputapu rino maka, ka eke tona whakarea toharite o te roha waiariki ki te 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, me te nui o te ine ine i ahu mai i nga huringa pāmahana i roto i te 10 tau ko ± 0.05mm. I roto i te taiao makuku, ka marara te rino ki te waikura me te waikura. Ko etahi tauira e whakaatu ana i te rerekeetanga o te rohe, ka piki ake te ine inenga. I raro i te mahi a te wiri miihini, he ngoikore te mahi wiri a te rino me te rereke o te rahi, he uaua ki te whakatutuki i nga whakaritenga tino tika mo te tirotiro angiangi. ;
Ko te take nui mo te rereketanga o te pumau
I hangaia te Granite i roto i nga rau miriona tau na roto i nga tukanga matawhenua. He mātotoru, he kākahu hoki tōna hanganga o roto, ā, he pai te whakarite o ngā tioata kohuke, ka whakakore i te ahotea o roto i te taiao. Na tenei ka tino kore e aro ki nga huringa o nga ahuatanga o waho penei i te mahana, te makuku me te wiri. Ka mahia te rino ma te mahi whakarewa, he koha moroiti penei i te pores me nga rua onepu kei roto. I taua wa, ko te toenga o te ahotea i puta i te wa o te mahi makanga ka kaha ki te whakarereke i nga waahanga i raro i te whakaongaonga o te taiao o waho. Ko nga mea whakarewa o te rino maka ka kaha ki te waikura na te makuku, ka tere te kino o te hanganga me te whakaheke i te pumau o te ahu. ;
Te paanga ki nga taputapu tirotiro angiangi
Ko nga taputapu tirotiro angiangi e pa ana ki te papa raima, me tana mahi inenga pumau, ka taea e te punaha tirotiro te pupuri i te tino tika mo te wa roa, te whakaiti i te pohehe me te ngaro o te kitenga na te tika o nga taputapu, me te whakapai ake i te hua o te hua. I tenei wa, ko nga whakaritenga tiaki iti ka whakaiti i te utu huringa ora katoa o nga taputapu. Ko nga taputapu e whakamahi ana i nga taputapu rino, na te ngoikore o te ahua o te ahua, me whakarite kia rite tonu te whakatikatika me te tiaki. Ehara i te mea ka piki ake nga utu whakahaere engari ka pa ki te kounga o te whakangao semiconductor na te kore e tika, ka raru pea te ohanga. ;
I raro i te ahua o te whai a te ahumahi semiconductor ki te tino tika me te pai ake o te kounga, ko te kowhiri i te granite hei rauemi turanga mo nga taputapu tirotiro angiangi he tino whakaaro nui hei whakarite i nga mahi taputapu me te whakarei ake i te whakataetae o nga umanga. ;
Te wa tuku: Mei-14-2025