Ka whakawhānuihia te turanga miihini kirikiri na te wera i te wa e matawai angiangi?

I roto i te hononga matua o te hanga maramara - te matawai angiangi, ma te tika o nga taputapu ka whakatau i te kounga o te maramara. Hei waahanga nui o nga taputapu, ko te raru o te whakamaarama wera o te turanga miihini granite kua aro nui.

Ko te whakarea o te roha waiariki o te granite i te nuinga o te waa kei waenga i te 4 me te 8x10⁻⁶/℃, he iti ake i tera o nga konganuku me te mapere. Ko te tikanga ka huri te pāmahana, he iti noa te rereke o te rahi. Heoi, me tohu ko te iti o te roha waiariki ehara i te mea karekau he roha wera. I raro i nga rereketanga o te pāmahana, ahakoa te iti o te roha ka pa ki te tika o te nanoscale o te matawai angiangi.

I roto i te tukanga matawai angiangi, he maha nga take i puta ai te roha wera. Ko nga rereketanga o te pāmahana i roto i te awheawhe, ko te wera i hangaia e te mahi o nga waahanga taputapu, me te nui o te wera tere e kawea mai ana e te tukatuka laser ka puta katoa te turanga granite ki te "whakawhanui me te kirimana na nga huringa pāmahana". I te wa e toroa ana te turanga o te waiariki, ka kotiti ke te tika o te reriwe arataki me te papatahi o te papa, ka kore e tika te korikori o te tepu angiangi. Ka huri ano nga waahanga whatu tautoko, ka "rereke" te kurupae matawai. Ko te mahi tonu mo te wa roa ka kohi hapa, ka kino ake te tika.

Engari kaua e manukanuka. He rongoā kē kei te tangata. Mo nga rauemi, ka kowhiria nga uaua kirikiri he iti ake te whakarea o te roha waiariki ka tukuna ki te maimoatanga tawhito. I runga i te mana o te pāmahana, ko te pāmahana awheawhe ka tino whakahaerehia i te 23 ± 0.5 ℃, he iti ake ranei, ka hangaia hoki he taputapu whakamahana wera mo te turanga. Mo te hoahoa hanganga, ka mauhia nga hanganga hangarite me nga tautoko ngawari, a ka whakahaeretia te aro turuki i nga waa tuuturu ma nga pūoko pāmahana. Ko nga hapa i puta mai i te huringa waiariki ka whakatikatikahia e te algorithms.

Ko nga taputapu teitei penei i nga miihini ASML lithography, na enei tikanga, ka pupuri i te awe o te whakamaarama wera o te turanga kirikiri i roto i te awhe tino iti, e taea ai te tika o te matawai angiangi kia eke ki te taumata nanometer. Na reira, i te mea e tika ana te whakahaere, ka noho tonu te turanga granite hei whiriwhiri pono mo nga taputapu matawai angiangi.